無(wú)塵車(chē)間相對(duì)濕度控制不好，就會(huì)使無(wú)塵車(chē)間整體主要表現(xiàn)降低，并且還會(huì)繼續(xù)產(chǎn)生下列這些一系列的危害。

1、細(xì)菌生長(zhǎng)。細(xì)菌和別的生物污染(霉菌，病毒，細(xì)菌，滿(mǎn)蟲(chóng))在相對(duì)濕度超出60%的自然環(huán)境中能夠活躍性地繁育。一些有益菌在相對(duì)濕度超出30%時(shí)就可以提高。而相對(duì)濕度處在40%至60%的范疇中間時(shí)，能夠使病菌的危害及其上呼吸道感染降至最少。因此無(wú)塵車(chē)間的相對(duì)濕度必須控制在一定范疇。

2、相對(duì)濕度控制不好，容易導(dǎo)致無(wú)塵車(chē)間里的金屬腐蝕。許多化學(xué)變化的速率，包含浸蝕全過(guò)程，將伴隨著相對(duì)濕度的提高而加速。曝露在無(wú)塵車(chē)間周邊空氣中的表面都迅速的被遮蓋上最少一層單分子層的水。當(dāng)這種表面是由能夠與水反映的薄金屬材料鍍層構(gòu)成時(shí)，高濕度能夠使反映加快。一些金屬材料，比如鋁，能夠與水產(chǎn)生一層維護(hù)型的金屬氧化物，并阻攔進(jìn)一步的氧化還原反應(yīng)；另一種金屬材料，比如氧化銅，不是具備維護(hù)工作能力的。在高濕度的自然環(huán)境中，銅制表面更非常容易遭受浸蝕。

3、無(wú)塵車(chē)間相對(duì)濕度控制不好會(huì)出現(xiàn)靜電作用。當(dāng)相對(duì)濕度超出50%時(shí)，靜電作用剛開(kāi)始快速消退，可是當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí)，他們能夠在導(dǎo)體和絕緣體或是未接地裝置的表面上不斷存有較長(zhǎng)一段時(shí)間。無(wú)塵車(chē)間相對(duì)濕度在35%到40%中間能夠做為一個(gè)比較滿(mǎn)意的，半導(dǎo)體材料無(wú)塵車(chē)間一般都應(yīng)用附加的控制設(shè)備以限定靜電作用的累積。

4、吸水能力。相對(duì)濕度控制不好，對(duì)無(wú)塵車(chē)間吸水能力產(chǎn)出率一定的危害。

5、水蒸氣冷疑。在相對(duì)濕度較高的無(wú)塵車(chē)間自然環(huán)境中，萃取水形的毛細(xì)管力在顆粒物和表面中間產(chǎn)生了聯(lián)接鍵，能夠提升顆粒物與硅質(zhì)的表面的黏附力。這類(lèi)效用稱(chēng)之為凱爾文萃取，便是當(dāng)相對(duì)濕度低于50%時(shí)并不重要，但當(dāng)相對(duì)濕度在70%上下時(shí)，就變成顆粒物中間粘附的關(guān)鍵能量。

6、無(wú)塵車(chē)間的濕度在40%至60%的范疇一樣也是人們覺(jué)得舒服的適當(dāng)范疇。假如無(wú)塵車(chē)間濕度過(guò)過(guò)高讓人感覺(jué)憋悶，而濕度小于30%則會(huì)令人覺(jué)得干躁，皮膚皸裂，呼吸系統(tǒng)不適感及其感情上的很慢，進(jìn)而影響工作狀態(tài)。

7、無(wú)塵車(chē)間光刻的衰退。在半導(dǎo)體材料無(wú)塵車(chē)間中最急需解決適當(dāng)控制的是光刻膠的敏感度。因?yàn)楣饪棠z對(duì)相對(duì)濕度極其比較敏感的特點(diǎn)，它對(duì)相對(duì)濕度的控制范疇的規(guī)定是最嚴(yán)苛的。相對(duì)濕度和溫度針對(duì)光刻膠可靠性及其精準(zhǔn)的規(guī)格控制全是很重要的。乃至是在控溫標(biāo)準(zhǔn)下，光刻膠的黏性將伴隨著相對(duì)濕度的升高而快速降低。自然，更改黏性，便會(huì)更改由固定不動(dòng)成分鍍層產(chǎn)生的防護(hù)膜的薄厚。

除此之外，在高的相對(duì)濕度自然環(huán)境下，因?yàn)樗莸南眨箍局蒲h(huán)系統(tǒng)后光刻膠澎漲加劇。光刻膠粘合力一樣還可以遭受較高的相對(duì)濕度的不良影響；較低的相對(duì)濕度(約30%)使光刻膠粘附更為非常容易，甚至不需要聚合改性劑，如六甲基二硅氮烷(HMDS)。