無(wú)塵室，也稱潔凈室，是指一個(gè)具有低污染水平的環(huán)境，這里所指的污染來(lái)源有灰塵，空氣傳播的微生物，懸浮顆粒，和化學(xué)揮發(fā)性氣體。更準(zhǔn)確地講，一個(gè)無(wú)塵潔凈室具有一個(gè)受控的污染級(jí)別，污染級(jí)別可用每立方米的顆粒數(shù)，或者用最大顆粒大小來(lái)厘定的。低級(jí)別的無(wú)塵潔凈室通常是沒(méi)有經(jīng)過(guò)消毒的，更多的是關(guān)心空氣傳播的灰塵。

無(wú)塵潔凈室的定義

空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子等污染物排除，而得到一個(gè)相當(dāng)潔凈的環(huán)境。亦即：這個(gè)環(huán)境中的微塵粒子相當(dāng)少，稱之為潔凈室。無(wú)塵潔凈室被廣泛地應(yīng)用在對(duì)環(huán)境污染特別敏感的行業(yè)，例如半導(dǎo)體生產(chǎn)、生化技術(shù)、生物技術(shù)、精密機(jī)械、制藥等行業(yè)等，其中以半導(dǎo)體業(yè)其對(duì)室內(nèi)之溫濕度、潔凈度要求尤其嚴(yán)格、故其必需控制在某一個(gè)需求范圍內(nèi)，才不會(huì)對(duì)制程產(chǎn)生影響。作為生產(chǎn)設(shè)施，潔凈室可以占據(jù)廠房很多位置。

無(wú)塵室系統(tǒng)制造符合規(guī)格之潔凈空氣，連續(xù)且穩(wěn)定供給足夠之潔凈空氣于使用端，無(wú)塵潔凈室內(nèi)的制造區(qū)。以下由立凈簡(jiǎn)單介紹潔凈室的處理流程：外氣經(jīng)由外氣空調(diào)箱初步過(guò)濾微塵并控制其溫濕度后，經(jīng)由回風(fēng)管道間，將潔凈室之循環(huán)風(fēng)量與外氣空調(diào)箱之補(bǔ)充風(fēng)量混合，經(jīng)由冷卻盤管將回風(fēng)管道間之回風(fēng)降溫至凈室要求之規(guī)格，通過(guò)循環(huán)風(fēng)扇或FFU帶動(dòng)無(wú)塵潔凈室的氣流循環(huán)帶走微塵及熱量，最后經(jīng)過(guò)超高性能過(guò)濾網(wǎng)或過(guò)濾后，供應(yīng)至Fab區(qū)。

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